半导体生产
面向污染敏感的半导体制造工艺的受控洁净环境。
应用领域
半导体洁净室应用
在这些典型项目环境中，可根据工艺要求配置百航达洁净室设备及污染控制系统。
电子制造
用于电子装配及精密部件操作的过滤生产区域。
微电子
支持微小颗粒控制及稳定气流分布的洁净室配置。
精密装配
用于高精密装配操作的局部或全室洁净环境。
系统配置
洁净室设备与工程范围
百航达根据项目布局、气流、出入及污染控制要求，组合过滤产品、洁净室设备及模块化房间部件。
✓H13／H14 HEPA 过滤
✓FFU 风机过滤单元
✓智能 FFU 控制选项
✓风淋系统
✓传递窗及洁净室出入设备
✓模块化洁净室建设
为什么选择百航达
洁净室项目支持
稳定气流
配置 FFU 及过滤布局，实现均匀稳定的洁净空气分布。
可扩展 FFU 系统
从单个风机过滤单元到多单元洁净室吊顶布置。
精密环境支持
面向污染敏感的电子及半导体工艺进行设备选型。
定制工程
房间布局及设备配置匹配项目流程和安装条件。